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[情報] 挑戰ASML!佳能壓印機NIL可攻2奈米、價

挑戰ASML!佳能壓印機NIL可攻2奈米、價格僅EUV的10%
2023/12/30 06:46

〔編譯魏國金/台北報導〕瑞典媒體Gamingdeputy 27日報導,日本半導體設備巨頭佳能(Canon)十月推出的奈米壓印裝置(NIL)FPA-1200NZ2C不僅可生產2奈米製程晶片,其耗電量與價格皆為對手艾司摩爾(ASML)深紫外光機(EUV)的十分之一,為小型半導體製造商開啟生產先進晶片的新途徑。

佳能半導體機器事業部長岩本和德(Kazunori Iwamoto)指出,奈米壓印是將光罩上的半導體電路圖壓印在晶圓上,只要一次壓印,就能在適當位置形成複雜的2D或3D電路圖,因此只要持續改進光罩,甚至能生產2奈米晶片。

報導說,佳能的奈米壓印技術可生產至少5奈米製程晶片。先進半導體設備市場目前由艾司摩爾主導,佳能的技術將持續縮小與艾司摩爾的差距。

對於設備成本,岩本和德估計,單次壓印的成本可低至傳統曝光設備的一半。佳能執行長御手洗富士夫(Mitarai Fujio)則表示,奈米壓印的產品價格比艾司摩爾的EUV 將減少一位數,亦即前者為後者十分之一。

報導說,有別於以光學圖像投影原理來運作EUV,佳能開發的奈米壓印技術是將電路圖直接印在晶圓上,製造出的晶片據稱擁有可媲美最先進節點的幾何圖形,不過壓印速度較EUV慢。

該新設備預計可讓晶片製造商降低對晶片代工廠的依賴,同時讓台積電、三星電子等晶片代工廠更可能大量生產晶片。佳能表示,該設備需要的功率僅為EUV的十分之一。

佳能之前聚焦於生產普通晶片,2014年起開始大力投資壓印技術,並收購專門開發奈米壓印技術的Molecular Imprints公司。岩本和德說,佳能已收到大量半導體製造商、大學、研究機構的詢問,他們估計該技術可作為EUV的替代裝置,並可為個人電腦與邏輯IC生產快閃記憶體、DRAM等各種半導體。

https://ec.ltn.com.tw/article/breakingnews/4536163

Nikon和Canon以前確實有在製造曝光機啦,但先進製程就變成ASML的天下了

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WARgame723 : 故意不換腳位讓你單換cpu出問題最後連板一起換,老08/23 08:13
WARgame723 : 實說我覺得intel不換腳位良心多了08/23 08:13
SungHyun : 1樓中肯!08/23 08:18
WARgame723 : 打錯,我是要說i皇換腳位08/23 08:39
WARgame723 : 而且5nm就能打贏14nm? 我看未必08/23 08:40

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smallreader: 壓印NAND真香 114.27.27.55 01/02 01:53
saimeitetsu: 這主要是產DDR的吧 223.137.70.51 01/02 02:04
wahaha99: 壓印能到5nm、2nm感覺都是隨他講, 36.226.161.49 01/02 02:19
wahaha99: 這無所謂,比較奇怪的是壓印為什麼 36.226.161.49 01/02 02:19
wahaha99: 還要 1/10 EUV 的耗電? 36.226.161.49 01/02 02:19
selfhu: 美國拔拔又要氣噗噗的了 1.169.223.40 01/02 02:52
psgbpsgb: N/K 現在還是有繼續生產曝光機 只是沒 101.9.130.133 01/02 04:33
psgbpsgb: 用在重要的製程 101.9.130.133 01/02 04:33
Dlareme: 良率跟量產化不知道如何 223.137.192.24 01/02 05:29
hbj1941: 人家要的是良率啊,沒有驗證過的,誰敢 27.242.3.7 01/02 06:09
hbj1941: 用 27.242.3.7 01/02 06:09
ltytw: 還是習慣光刻 114.33.46.227 01/02 07:13
kisia: 不敢提良率就知道有問題了220.134.113.253 01/02 07:14
E6300: 良率大概也是1/10 61.227.206.23 01/02 07:31
menchian: 這之前有提過呀,壓印因為是接觸式,轉 111.82.90.102 01/02 07:46
menchian: 印板損耗高,合算起來成本沒太多優勢, 111.82.90.102 01/02 07:46
menchian: 跟該公司印表機同一概念 111.82.90.102 01/02 07:46
IKnowWhy: 問題是誰敢當白老鼠啊 27.52.134.40 01/02 07:54
hbj1941: 艾斯摩爾是跟台積電高度技術綁定,台積 27.242.1.246 01/02 08:15
hbj1941: 電生產上的資訊會反饋回去作為下一代機 27.242.1.246 01/02 08:15
hbj1941: 台的設計 27.242.1.246 01/02 08:15
GeneFox: 壓印能不能做GAA也沒說,生產效能跟良率 59.127.91.45 01/02 08:37
GeneFox: 也模糊不清,驗證完正式生產大概也就比 59.127.91.45 01/02 08:37
GeneFox: 傳統的便宜2成吧,可以當小規模的替代方 59.127.91.45 01/02 08:38
GeneFox: 案 59.127.91.45 01/02 08:38
gn00152097: 甚至?那就是根本還沒辦法223.138.207.105 01/02 08:48
tony1768: 甚至? 後面自己想辦法?210.242.222.220 01/02 09:10
ATand: 做為驗證或是工程用的應該還可以吧 60.249.214.43 01/02 09:22
Nitricacid: 我ok你先用 49.216.191.39 01/02 09:41
saimeitetsu: 然後先不說良率,這產能就很低了 223.137.70.51 01/02 10:13
amos30627: 中國會買 101.9.195.137 01/02 10:42
cevs: 好猛 以為只有做相機223.140.173.228 01/02 11:08
SaberMyWifi: 價格1/10,耐用度也是1/10 49.216.52.188 01/02 11:18
yinaser: 技術預估2025商用這主要是跟鎧俠合作118.171.132.119 01/02 11:46
ma721: 沒用產太慢 39.14.40.253 01/02 11:48
ma721: 想一下印表機的速度就知道 39.14.40.253 01/02 11:49
dinosd2: 產能比ASML慢是確定了,良率還輸就下去吧 59.125.98.168 01/02 11:50
zzro: 印刷大國 什麼都用印的133.106.140.128 01/02 12:25
syearth: 日本廠商也會遵守美國禁令吧 220.129.80.98 01/02 12:48
Chilloutt: 吹很久了 114.36.13.65 01/02 13:14
meowgy: 壓印光罩與晶圓上的比例是1:1?,那光罩慢 116.89.142.143 01/02 13:36
meowgy: 慢等吧 116.89.142.143 01/02 13:36
aegis43210: i皇仍在使用nikon的曝光機呀,這個目175.182.113.231 01/02 13:37
aegis43210: 標是吃記憶體市場,畢竟未來都是堆幾175.182.113.231 01/02 13:37
aegis43210: 百層,用印的比較便利175.182.113.231 01/02 13:37
Hazelburn: 尼康在圈內的評價好像不是很好 223.136.192.68 01/02 14:32
gameguy: Canon印表機是加熱氣泡再噴出的吧,不是 27.53.129.120 01/02 15:29
gameguy: 靜電式的那種印表機。我印故我在? 27.53.129.120 01/02 15:29

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